作为无尘室厂房的装修工程设计的先导步骤，工艺设计需要在满足电子产品生产要求的前提下合理进行无尘室厂房的装修工程生产设备布局，合理确定各种公用动力设施的技术参数，做到能量消耗少、运行费用低、生产效率高和建设投资少;同时，还需要合理进行人流路线、物料运输和仓储设施的配置和布置，满足电子产品无尘室厂房的装修工程生产要求和产品生产工艺要求；此外，还应该尽可能提升生产设备的自动化水平和物料运输的自动化水平，在经济、实用、安全可靠的条件下提高生产效率。

生产设备的平面布局也是电子无尘室厂房的装修工程工艺设计的重要内容。电子无尘厂房形式一般有隧道式(或称港湾式)、开放式、岛形布置等。据调查表明，集成电路芯片制造用无尘室厂房的装修工程一般采用隧道式和开放式，其中隧道式洁净室主要用于5英寸、6英寸芯片制造厂，生产设备横跨洁净生产区和设备维护区，洁净生产区对洁净度要求严格，而设备维护区的空气洁净度等级相对较低。

触摸屏车间洁净要求：

LCD无尘车间净化其净化洁净度一般为万级，局部千级要求，部分要求恒温恒湿。

1、无尘车间安装室内空气参数要求:

1-1温湿度要求：温度一般为23+2℃，相对湿度为55+5%。

1-2新风量大。由于这类净化无尘车间内人员比较多，可以根据以下数值应取下列的.大值：非单向流净化无尘室车间总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;**室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。

1-3送风量大。为了满足无尘净化车间内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是千级净化无尘车间，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是≥25次/h);

1-4压差：主车间对相邻房间≥5Pa

1-5平均风速：100级：0.3-0.5m/s;

1-6噪声≤65dB(A);

1-7照度≥300LX

2、人流

2-1、人员净化：

2-2、洁净室入口设风淋室。货物进出设货淋室或者传递窗等物流通道;

2-3、单人风淋室，应按.大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时，风淋室一侧应设单向旁通门;

2-4、风淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措施;

2-5、空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室，宜设气闸室。

3、物流

3-1、洁净室内的设备和物料出入口，应独立设置，并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。

3-2、物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。

4、静压差

4-1、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa;

4-2、洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa;

4-3、洁净室与室外的静压差应大于10Pa。

5、净化原理

气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化
重复以上过程，即可达到净化车间目的

6、结构材料

6-1、净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板，其特点为美观、刚性强。角与角之前的拼接选用圆弧连接，宜清洁，符合GMP要求

6-2、地坪：可采用2mm/3mm环氧树脂或是PVC地坪，电子厂房选用防静电地坪

6-3、送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。

6-4、高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁 。